서울대학교기술지주가 차세대 반도체 미세 구조 측정 장비를 개발하는 스타트업 멀티스케일인스트루먼트(대표이사 제원호)에 신규 투자를 단행했다. 이번 투자 라운드에는 서울대학교기술지주와 함께 한국투자파트너스, 아이디벤처스, 기술보증기금이 공동 투자사로 참여했다. 2023년 설립된 멀티스케일인스트루먼트는 서울대학교 물리학부 제원호 교수를 주축으로 연구실 출신 석·박사급 전문 인력들이 모여 창업한 반도체 측정 장비 전문 딥테크 기업이다.
최근 반도체 공정이 게이트올어라운드(GAA), 고대역폭메모리(HBM) 등 고집적 3차원 입체 구조로 전환되면서, 기존 빛이나 전자빔을 활용한 현미경으로는 미세 결함을 확인하는 데 한계가 뚜렷해졌다. 이에 나노미터 단위의 탐침으로 표면을 검사하는 ‘원자현미경(AFM)’이 필수 계측 장비로 부상했으나, 종래 방식은 측정 정밀도를 높일수록 계측 시간이 길어지고 안정성이 저하되는 등 실제 양산 라인 적용에 제약이 따랐다.
멀티스케일인스트루먼트는 수정 진동자의 정밀 진동 원리를 응용한 ‘QTF 방식’ 원자현미경을 독자 개발해 이러한 한계를 극복했다. 레이저와 복잡한 광학 부품을 배제해 센서 헤드를 초소형화함으로써 단일 장비에 다수의 센서 헤드를 탑재해 동시 측정이 가능하도록 설계했다. 이를 통해 부품 손상을 최소화하는 안정성과 고정밀도를 유지한 채 계측 속도를 수십 배 끌어올렸다. 회사는 연구개발 역량을 인정받아 딥테크 팁스(TIPS)와 ‘초격차 스타트업 1000+’ 사업에 선정된 바 있으며, 연구용 단일 제품을 시작으로 공정 장비 내장형 멀티헤드 산업용 장비까지 순차 상용화할 계획이다.
이번 투자를 이끈 차인환 서울대학교기술지주 대표이사는 “멀티스케일인스트루먼트는 소수 해외 및 국내 기업이 과점해 온 반도체용 원자현미경 시장에서 기존 기술 한계를 뛰어넘는 독보적 메커니즘을 확보했다”고 평가했다.
제원호 멀티스케일인스트루먼트 대표이사는 “이번 투자 유치를 발판으로 시제품 제작과 공정 장비 내장형 모듈 개발에 속도를 낼 것”이라며 “국내외 주요 반도체 제조사와의 공정 검증을 거쳐 차세대 반도체 생산 라인의 핵심 계측 장비로 자리매김하겠다”고 설명했다.
이미지 제공: 서울대학교기술지주
